近期我國科研人員突破了原子級平整反鐵磁金屬單晶薄膜的關鍵制備技術
，使超快速響應超高密度反鐵磁隨機存取存儲器的研制成爲可能
，有望大幅提升手機、計算機等信息產品運行速度
。該研究由北京航空航天大學材料學院磁性功能材料研究團隊、華中科技大學物理學院、中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所加工平臺合作完成
，相關成果19日在國際學術期刊《自然》雜志上發表
。（新華社） 

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　　【新聞擴展】中科院蘇州納米所加工平臺團隊在此項技術突破中負責器件的微納加工
。衆所周知
，芯片加工技術是我國面臨的關鍵“卡脖子”技術之一
，加工平臺團隊致力於整合芯片技術創新資源
，突破產業發展的微納加工核心技術
，探索形成長效穩定的產學研合作機制
。加工平臺（http://nff.sinano.ac.cn/）已建成國內功能齊全、工藝能力領先的集器件設計、工藝加工、測試、器件封裝和設備研發於一體的多功能技術平臺
，擁有外延、光刻、化學氣相沉積、物理氣相沉積、刻蝕、離子注入、減薄、切割、封裝、工藝量測及器件性能檢測與失效分析等大型微納加工設備300餘臺套
，可滿足微電子、光電子器件、微納光機電系統、生物芯片和各種傳感器的研發（2~6英寸）和小試（8英寸）需求
。加工平臺已與來自高校、科研院所、企業的科研團隊建立了友好合作
，開展聯合技術攻關、共建研發基地/實驗室
，助力重大科研突破、加速產品開發和企業成長
。加工平臺目標是建成具有國際先進水平的、面向國內外開放的納米科學研究和成果轉化的公共技術服務中心
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